您当前的位置：网站首页
> 技术应用 > 正文
|
油扩散泵的分类与特点
来源：上海宝龙气动泵阀厂
发布日期：2015/10/19
新国家推荐标准将油扩散泵分为K 系列(直腔泵)、KT 系列(凸腔泵) 2 个系列, 主要依据泵的外形差异进行区别。实际上市场现存的产品除包括上述2 类外, 还包括KA 系列(直腔矮泵)、KTD 系列(凸腔低返油泵)、KC 系列(宽区域泵) 等; 按喷帽、喷嘴数量分有5 级、4 级、3 级等形式。
泵系列的演变是随着我国科技人员对油扩散泵研究的深入和解决实际应用问题的过程中逐步完善的。例如, 在允许稍许降低泵的抽气速率指标下, 通过合理调节泵芯各级间距, 可以降低泵的高度, 从而减少空间高度, 于是出现了直腔矮泵。实践发现在泵口尺寸不变的情况下增加泵腔尺寸可以将泵的抽气速率平均提高30% , 甚至50% , 对大泵来说也有一定的效果, 我公司新研制的直径1200 mm 的凸腔泵比直腔泵的抽气速率提高20% , 由于提速效果明显, 凸腔泵很快系列化, 并成为油扩散泵的主流产品, 广泛应用于各类真空应用设备中。随着半导体等行业的发展, 提出了洁净真空的要求, 必须严格限制泵液返流率, 甚至要求无油真空的环境, 因此只有降低泵本身的返流率并配置合理有效的防返油装置才能解决问题, 于是凸腔低返油泵系列应运而生, 该类泵的泵腔、泵芯的设计与凸腔泵有明显的不同, 设计参数突破了原有的选择范围, 并不只是简单地将水冷挡油帽置于泵腔内的结构, 实际表明, 凸腔低返油泵和预期的效果尚有差距, 需进一步改进探索。油扩散泵在10-4～ 10-2Pa 范围具有稳定的抽气速率, 压力高于10-1 Pa 时抽气速率降幅非常大, 形成明显的拐点, 使油扩散泵与前级泵不能很好地衔接, 延长抽气时间, 新生的宽区域泵在不改变泵原有的性能指标的情况下, 提高泵在高压力区域的抽气速率, 同时提高泵的临界前级压力, 使抽气效率明显增大。
外国公司的油扩散泵一般根据用途、配套的辅助部件(如挡板) 的不同来划分系列:ULVAC 公司分为ULK系列、U、F系和、PFL系列; BOC Edwards 公司按用途分科研、工业和彩管行业用泵, 有Standard D IFFSTA IC、Cryocoo led DIFFSTA IC、HT 和EO 系列; Pfeiffer 公司分为DIF 系列和DIFC 系列; Leybold 公司是DIP 系列。各公司一般将科研用泵和工业用泵、通用型和专用型泵、小口径泵和大口径泵区别开来, 有的公司将泵、阱、阀、冷却和电控集合为一体, 方便了用户的使用。外国公司产品的多样性体现了国外产品的人性化设计思想和良好的联体界面, 丰富产品类型的同时简化了户使用手续, 降低对用户专业化知识的要求。 |
