构造：加热电阻丝、Ti材料(线或球)。

    原理：通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。 在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。

    特征：

    排气速度大。

    没有运动部分,没有振动。

    需要和其它初段排气泵组合。

    有一定寿命。

低温泵 

    构造：冷冻机、液态He。

    原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。

    特征：

    能达到超高真空(10-11Pa)

    排气速度快。

    安装方向不受限制。

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